- Dünnfilmmikroelektronik
- plonasluoksnė mikroelektronika statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. thin film microelectronics vok. Dünnfilmmikroelektronik, f rus. тонкоплёночная микроэлектроника, f pranc. micro-électronique à films minces, f
Fizikos terminų žodynas : lietuvių, anglų, prancūzų, vokiečių ir rusų kalbomis. – Vilnius : Mokslo ir enciklopedijų leidybos institutas. Vilius Palenskis, Vytautas Valiukėnas, Valerijonas Žalkauskas, Pranas Juozas Žilinskas. 2007.